電渦流位移傳感器是一種基于電渦流效應(yīng)原理的非接觸式位移傳感器,其主要功能是實時測量被測物體表面的微小位移。傳感器中由高頻交流電源產(chǎn)生的交變磁場在被測物體表面產(chǎn)生了一種交變電流,隨著被測物體位移,電流的頻率和振幅會發(fā)生變化,從而達到對位移的測量。原理是基于伊壁耳-伏安效應(yīng)和法拉第電磁感應(yīng)原理。電渦流是一種沿導(dǎo)體表面?zhèn)鞑サ臏u流,當(dāng)導(dǎo)體表面放置一個交變磁場時,會在導(dǎo)體表面產(chǎn)生一種交流電流,這種電流會影響到磁場,從而影響到擾動源,這種影響就叫做伊壁耳-伏安效應(yīng)。根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)原理,一個導(dǎo)體在磁場中感受到的電動勢大小與導(dǎo)體所受磁場強度的變化率成正比。因此,在位移傳感器中,測量被測物體的微小位移就是通過測量交變磁場在導(dǎo)體表面形成的電流振幅和相位來實現(xiàn)的。
電渦流位移傳感器具有以下特點:
1.高精度:傳感器的測量精度可以達到微米甚至亞微米級別;
2.非接觸式:測量過程中傳感器不需要直接接觸被測物體,避免了機械損傷;
3.快速響應(yīng):傳感器可以在微秒級別內(nèi)完成位移測量,響應(yīng)速度很快;
4.寬測量范圍:傳感器可以對不同材料的被測物體進行位移測量,測量范圍可達數(shù)毫米;
5.穩(wěn)定性好:傳感器在使用過程中可以保持長期穩(wěn)定性,不會受到環(huán)境溫度和濕度等因素的影響。
電渦流位移傳感器廣泛應(yīng)用于制造業(yè)中的位移測量、機械加工中的自動化控制、航空航天、軌道交通和電力等領(lǐng)域中。其中,位移傳感器在航空航天領(lǐng)域中的應(yīng)用最為普遍。在航空制造過程中,由于零部件的材質(zhì)不同、形狀不同,需要進行位移測量的情況也不同。因此,位移傳感器可以對各種材料的零部件進行準(zhǔn)確的位移測量,這對于保證飛機的運行安全至關(guān)重要。